在沈陽市渾南區(qū)飛云路,，一片外表樸實(shí)的廠房卻承載著為中國(guó)“芯”顯影的重大使命,。成立于2002年的沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司（下簡(jiǎn)稱:沈陽芯源）,，其產(chǎn)品在勻膠顯影技術(shù)領(lǐng)域達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,。

沈陽芯源作為首批國(guó)家專精特新“小巨人”企業(yè)，深耕半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分賽道,，2021年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入8.29億元,，同比增長(zhǎng)152%；2022年以來生產(chǎn)未受到新冠疫情的影響,，訂單持續(xù)增長(zhǎng),。

緊鄰沈陽芯源還有一家外表并不顯眼的企業(yè)，當(dāng)我們走進(jìn)生產(chǎn)車間,，映入眼簾的是一排排世界頂級(jí)的精密機(jī)床,，正在納米尺度上精雕細(xì)刻件件產(chǎn)品。這里的清潔度達(dá)萬級(jí),，這里的加工精度以納米為單位,。這家名為沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司（下簡(jiǎn)稱：沈陽富創(chuàng)）的神秘企業(yè)，是IC裝備精密零部件加工冠軍型企業(yè),。

目前集成電路的線寬只有人們頭發(fā)的十萬分之一,，這樣精微的要求，幾乎達(dá)到了機(jī)械制造的極限,，沈陽富創(chuàng)潛心多年研發(fā)加工工藝,，終于敲開了世界IC裝備制造業(yè)的大門。

類似沈陽芯源,、沈陽富創(chuàng)等企業(yè),，雖然體量不大，但卻人員精干,，在專項(xiàng)領(lǐng)域打破了國(guó)外對(duì)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)封鎖,。在業(yè)內(nèi)人士看來，這些專精特新型“小巨人”企業(yè)的聚集,，充分發(fā)揮了自主創(chuàng)新,、高質(zhì)量發(fā)展的示范作用。

記者：高銘